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随着互联、便携式电子产品的增多，高速移动通信和物联网的蓬勃发展，半导体器件已渗透到我们的日常生活中，需要越来越多的数据存储、交换和处理。
为了满足激增的需求，半导体器件制造商和设计人员需要分析材料，以提高性能和器件可靠性，同时控制成本。半导体表征仪器必须满足相互冲突的要求：既要能在创新初期进行研究和工艺开发，又要能用于大批量生产（HVM），确保低拥有成本和高正常运行时间。
考虑到上述挑战，CAMECA 二次离子质谱仪（SIMS）和原子探针断层分析术（APT）已被广泛用于支持半导体器件的研发和大批量生产。在合适的平台上实现了所需的技术能力，为半导体市场带来了最大的利益。
本手册将向您介绍 CAMECA 的高产能、高精度分析仪器组合，回顾 SIMS 和 APT 目前在存储器、电力电子、传感器、逻辑、光电、显示等领域的部分应用。无论是测量低水平掺杂植入物、纳米级晶体管还是存储器件，CAMECA 都能为您提供量身定制的解决方案。