凭借高亮度场发射源，CAMECA SXFiveFE电子枪筒在实验中提供了将低加速电压与强束流相结合的实验条件。在此类优化条件下，使得电子和样品间的相互作用体积减小，从而可以实现高空间分辨率。
X射线图像是在斜方辉石的单斜辉石出溶片晶上获取的。该片晶只有几百纳米宽。两个相均采用全聚焦光斑进行分析，展现了SXFiveFE的高空间分辨率能力。
在钙和镁上获取的X射线图像展现了SXFiveFE的独特能力：将用于空间分辨率优化的低电子束电压与用于X射线检测优化的高灵敏度晶体相结合。
然后使用8keV和20nA的聚焦电子束在单斜辉石和斜方辉石相中进行定量分析。以下数据集展现了SXFiveFE在测定精确的定量元素组成方面的卓越能力。
斜方辉石定量分析：
|
氧化钠
|
氧化镁
|
二氧化硅
|
氧化铝
|
氧化钙
|
氧化铁
|
氧化锰
|
总计
|
| 3/1 |
0.001 |
31 |
54.84
|
1.14 |
0.73 |
11.09
|
0.26 |
99.06 |
| 7/1 |
0.03 |
31.04 |
54.77 |
1.13 |
0.62 |
12.3
|
0.29 |
100.2 |
| 8/1 |
0.01 |
31.09 |
54.54
|
1.15 |
0.72
|
11.77
|
0.88 |
100.16 |
| 9/1 |
0.01 |
30.85 |
54.54
|
1.11 |
0.79
|
12 |
0.71 |
100.02
|
| 12/1 |
0.02 |
30.8 |
54.71
|
1.11 |
0.68
|
11.52 |
0.23 |
99.09
|
| 平均值 |
0.02 |
30.96
|
54.68
|
1.13 |
0.71
|
11.74 |
0.47 |
99.71
|
单斜辉石定量分析：
|
氧化钠
|
氧化镁
|
二氧化硅
|
氧化铝
|
氧化钙
|
氧化铁
|
氧化锰
|
总计
|
| 4/1 |
0.44 |
16.81
|
51.99
|
1.68 |
25.48
|
3.37
|
0.06 |
99.83 |
| 5/1 |
0.38 |
17.29
|
52.18 |
1.28 |
25.38
|
3.44
|
0.15 |
100.1 |
| 6/1 |
0.43 |
16.35
|
52.35
|
1.58 |
25.54
|
3.72
|
0.21 |
100.18 |
| 10/1 |
0.41 |
16.95
|
52.56
|
1.65 |
25.68
|
3.02
|
0.39 |
100.66
|
| 11/1 |
0.45 |
16.79
|
52.54
|
1.68 |
25.59
|
3.67
|
0.05 |
100.77
|
| 平均值 |
0.42 |
16.84
|
52.32
|
1.57 |
25.53
|
3.44
|
0.17 |
100.31
|