凭借高亮度场发射源,CAMECA SXFiveFE电子枪筒提供了将低加速电压与强束流相结合的实验条件。在此类优化条件下,不仅使得电子和样品间的相互作用体积减小,还可以实现高空间分辨率。
本次在镍基钎焊和镍基高温合金基体放热期间的互扩散研究中使用了非常低的加速电压(5keV)。
在镍、钼和硼上获取的X射线图像(下图)展现了SXFiveFE的独特能力:将用于空间分辨率优化的低电子束电压与用于X射线检测优化的高灵敏度晶体相结合。
在这种优化条件下,左侧的B Ka图显示了300纳米横向分辨率范围内非常清晰的细节。在轻元素上实现这样的分辨率是一项重大挑战。
样品来源:C. Pascal, R.M.Marin-Ayral, J.C. Tédenac, C. Merlet.Material Science and Engineering A. 341(1-2), 144-151页