CAMECA 所有电子源和离子源产品的核心均采用一种获得专利的微波放电系统，该系统能够以极低的功耗（约 1 W）点燃并维持电子回旋共振（ECR）等离子体。这意味着我们可以使用类似于手机所采用的简单低功率发射器。
ECR 概念结合超紧凑型谐振腔设计，使多个可独立控制的谐振腔能够以阵列形式工作，从而生成任意尺寸的等离子体片层。通过增加引出光学系统（Extraction Optics），这些等离子体可以转换为任意形状和尺寸的离子束或电子束。
基于这种独特的单腔体 ECR 技术，CAMECA TES 离子源和电子源成为市场上体积最小的微波等离子体源。
CAMECA 独有单腔体 ECR 技术的主要特点与优势
最高正常运行时间与可靠性
TES 是基于专利单腔体 ECR 技术开发的一系列离子源和电子源产品。TES 可在极低功率（低于 5 W）下运行，无需对离子源进行冷却，从而避免了所有与冷却系统相关的问题。
TES 产品具有极高的稳定性和超长使用寿命：多个型号可连续运行超过 15,000 小时，无需操作人员干预，也不会出现性能下降。
TES 能够在极宽的压力范围内工作，从超高真空到初级真空环境均可稳定运行。因此，无论是需要外部供气的工艺，还是抽气条件未优化的环境，TES 都能作为可靠的解决方案。
易于使用与自动化
CAMECA 独有的单腔体 ECR 技术使离子源启动过程极其简便，仅需在控制软件中按下一个按钮即可完成启动。从点火到达到稳定的额定性能通常不到一分钟。
用户还可以预设启动时间，实现自动开机。
TES 标配图形化用户界面（GUI）用于控制设备，同时提供 API 开发库，方便将源代码轻松集成到您的设备控制软件中。
每一款 TES 产品均可配置脉冲束流（Pulsed Beam）选项，以确保对束流随时间变化的精确控制。
多功能性
所有 TES 产品均可配置为产生离子或电子。每款 TES 型号均提供双极模式（Bipolar Mode）选项，可交替产生正离子、电子以及负离子。因此，TES 产品系列能够满足广泛应用领域的需求，包括质谱分析、离子注入、离子束修形、核物理、原子物理等众多应用。
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