CAMECA 所有离子源和电子源的核心均采用一种获得专利的微波放电系统。该系统能够以极低的功耗（约 1 W）点燃并维持电子回旋共振（ECR）等离子体，并为广泛的应用生成离子束或电子束。
TES-GO 是一种可在真空环境下运行的移动式离子/电子源，可支持高达 5kV 的束流能量。
TES-40 基于一个安装在 ConFlat CF40 法兰上的 TES 腔体，可承受高达 5kV 的束流能量。
TES-63 基于安装在 ConFlat CF63 法兰上的 TES 腔体，可承受高达 15kV 的束流能量。
TES-100 基于安装在 ConFlat CF100 法兰上的 TES 腔体，可承受高达 30kV 的束流能量。
CAMECA HEXAR 是一款专为真空环境下的表面处理而设计的宽束离子源。HEXAR 采用可扩展设计理念，能够制造出适用于处理各种尺寸表面需求的离子源。其典型应用包括离子束刻蚀、表面清洗、离子辅助沉积以及离子束溅射沉积。
CAMECA法拉第杯用于测量粒子源输出的离子或电子电流。它通过柔性连接与电子设备相连，可在真空环境下移动，从而能够更灵活地适应特定应用需求。
我们的 TES 产品系列可满足各种应用和工艺的需求。选择最符合您需求的产品！