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SIMS(二次离子质谱仪)

SIMS技术为氢到铀及其以上的所有元素(许多元素的检出限低至ppb级)提供了高灵敏度、高横向分辨率映射(低至40纳米)以及非常低的本底的独特组合,可实现高动态范围(超过5个数量级范围)。