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SIMS

SIMS技术为氢到铀及其以上的所有元素(许多元素的检出限低至ppb级)提供了极高灵敏度、高横向分辨率映射(低至40纳米)以及非常低的本底的独特组合,可实现高动态范围(超过5个数量级范围)。
  • SIMS
    SIMS介绍

    动态SIMS的基本原理,可在亚纳米至几十纳米的深度分辨率下对痕量元素的主体组成和深度分布进行分析。

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  • IMS 7f-Auto
    IMS 7f-Auto

    完全自动化的SIMS具有极低的检出限,已针对玻璃、金属、陶瓷、硅基、III-V、II-VI族化合物、散装物料、薄膜等一系列颇具挑战性的应用进行改良。

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  • IMS 7f-GEO
    IMS 7f-GEO

    紧凑型高通量SIMS仪器,用于测量地质样品,即稳定同位素、稀土元素(REE)、痕量元素……

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  • IMS 1300-HR3
    IMS 1300-HR³

    具有无与伦比的分析性能的大尺寸几何结构SIMS探针适用于地球科学应用:稳定同位素、痕量元素、地质年代学、颗粒分析……

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  • KLEORA
    KLEORA

    地质年代学研究专用的SIMS探针,在高通量、易于使用的平台为原位U-Th-Pb同位素分析和矿物定年提供基准灵敏度。

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  • NanoSIMS-HR
    NanoSIMS-HR

    NanoSIMS-HR 是世界著名的 NanoSIMS 50/50L 二次离子质谱仪系列的继承者,提供前所未有的 30 nm 横向分辨率、高通量、可靠性和正常运行时间以及低温能力?

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  • NanoSIMS 50L
    NanoSIMS 50L

    应用于材料、地质学、行星及生命科学的超细特征分析的SIMS探针

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  • AKONIS icon
    AKONIS

    全自动在线 SIMS 直接在半导体生产线上执行即时成分测量。

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  • SC Ultra
    IMS Wf和SC Ultra

    应用于高级半导体的高性能低能量SIMS工具:超浅能量和高能量注入物、超薄氧化物、高k金属栅极、硅锗、PV、LED、石墨烯

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  • SIMS 4550
    SIMS 4550

    四极杆SIMS将基准超浅深度剖析功能与易操作性相结合,适用于半导体应用。

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  • ACTINIS - 带屏蔽功能的IMS

    应用于放射性样品的安全处理和精确同位素及元素分析的带屏蔽功能的离子探针。

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