动态SIMS的基本原理,可在亚纳米至几十纳米的深度分辨率下对痕量元素的主体组成和深度分布进行分析。
完全自动化的SIMS具有非常低的检出限,已针对玻璃、金属、陶瓷、硅基、III-V、II-VI族化合物、散装物料、薄膜等一系列颇具挑战性的应用进行改良。
紧凑型高通量SIMS仪器,用于测量地质样品,即稳定同位素、稀土元素(REE)、痕量元素……
具有高分析性能的大尺寸几何结构SIMS探针适用于地球科学应用:稳定同位素、痕量元素、地质年代学、颗粒分析……
地质年代学研究专用的SIMS探针,在高通量、易于使用的平台为原位U-Th-Pb同位素分析和矿物定年提供基准灵敏度。
NanoSIMS-HR 是世界著名的 NanoSIMS 50/50L 二次离子质谱仪系列的继承者,提供前所未有的 30 nm 横向分辨率、高通量、可靠性和正常运行时间以及低温能力
应用于材料、地质学、行星及生命科学的超细特征分析的SIMS探针
全自动在线 SIMS 直接在半导体生产线上执行即时成分测量。
应用于高级半导体的高性能低能量SIMS工具:超浅能量和高能量注入物、超薄氧化物、高k金属栅极、硅锗、PV、LED、石墨烯
四极杆SIMS将基准超浅深度剖析功能与易操作性相结合,适用于半导体应用。
应用于放射性样品的安全处理和精确同位素及元素分析的带屏蔽功能的离子探针。