独居石广泛存在于一系列岩石种类中，是性能稳定的地质年代学记录载体，能够记录多个结晶事件。
EPMA是一种精确、非破坏性的高分辨率定年技术
通过测量钇、铀、钍和铅对独居石进行原位定年，可以将微观结构和地质年代数据联系起来，从而为地质学家提供新的信息。
电子探针显微分析因具备高空间分辨率而优于标准质谱法：光斑尺寸小于1微米时，横向分辨率比同位素方法高10至100倍。CAMECA WDS的高光谱分辨率和再现性为痕量元素测量带来了优质的精确度和准确度，使SXFive和
SXFiveFE电子探针成为亚微米级独居石定年的优异工具。
如上所示：来自加拿大北极努纳武特布西亚半岛的独居石。量化的高分辨率X射线图像揭示了具有重要地球化学意义的元素的空间变化，用以指导进一步的定量分析。几代独居石的生长得以再现，其中最引人关注的是钇含量较高的边部和裂缝充填独居石（约1800Ma），它已穿透了更老的独居石（约2400Ma）。样品由马萨诸塞大学阿默斯特分校（美国马萨诸塞州）和加拿大地质调查局（加拿大渥太华）的M.J.Jercinovic博士和R.G Berman博士提供。
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地质年代学和EPMA应用指南。