EPMA的工作原理是利用聚焦电子束（典型能量= 5-30keV）轰击微体积样品并收集由各种元素物质发射的X射线。由于这些X射线的波长是发射物质的特征，因此可以通过记录WDS波谱（波长色散光谱）轻松识别样品组分。WDS波谱仪基于布拉格定律进行操作，并使用各种可移动的成型单晶作为单色仪。
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EPMA提供了在材料表面对微米级体积进行非破坏性元素分析的完全定性和定量方法，具有ppm级灵敏度。可在数天内获得1％再现性的常规定量。它是最精确和准确的微区分析技术，可分析从硼到铀及以上的所有元素。
- EPMA与常规分析会话完全兼容，可对结果进行简单而直接的诠释。
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EPMA仪器配有完整的内置显微镜工具套件，可同时进行X射线（WDS和EDS）、SEM和BSE成像，此外还配备精密的可见光光学器件；这些仪器可提供非常灵活的样品检测，图像放大倍数范围是40到400,000。
- 可以在层状材料中测定厚度和元素组成（从纳米到毫米厚的层）。
主要应用于地球化学、矿物学、地质年代学、物理冶金学、核能冶金学、材料科学（包括玻璃、陶瓷、超导体、水泥）、微电子学、生物化学……
EPMA提供的结果远比标准SEM/EDS系统提供的更准确。鉴于WDS的内在属性，EPMA所提供的一般灵敏度、轻元素分析以及可能产生的定性光谱的错误解释的风险均令人满意。光谱分辨率和探测器死区时间远优于EDS（能量色散谱）。
发射电子束调节系统和精密的样品台功能确保该技术能够提供出色的稳定性和测量重复性。
CAMECA：EPMA先锋和全球领导者
自从EPMA首次在大规模生产中出现时，该技术已经与CAMECA联系在一起。在与巴黎大学R. Castaing教授密切合作并借鉴其研究成果的基础上，CAMECA早在1958年就推出了MicroProbe MS85。该仪器很快在全世界范围内得到认可，并且从不断改进和迎接新的分析挑战中受益。
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EPMA使用说明书：这本32页的手册介绍了该技术的历史、背景和实用信息，以及电子探针仪器操作的深入见解和一些案例研究。